大口径球面光学元件表面疵病检测系统及其方法

摘要

本发明公开了一种大口径球面光学元件表面疵病检测系统及其方法。本发明包括XY二维导轨、二维旋转系统、大口径球面光学元件、环形照明光源、Z向导轨、显微镜、CCD1、光学自准直定中仪、CCD2；大口径球面光学元件固定于二维旋转系统上，二维旋转系统安装于XY二维导轨上，实现大口径球面光学元件的多轴联动；CCD1连接到显微镜上并固定于环形照明光源上，环形照明光源及光学自准直定中仪固定于Z向导轨上，并随Z向导轨沿Z轴方向平动，CCD2连接到光学自准直定中仪上。本发明实现了大口径球面元件表面疵病的子孔径采样过程，对全口径疵病灰度图像进行数字化特征提取后，从而实现疵病的自动化定量检测。