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EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量

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摘要

为了完善金刚石膜生长工艺,对衬底温度进行测量和控制,采用基于C8051 HY20单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度.对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计.经过验证该系统测温准确,效果良好.

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来源
《机械制造与自动化》 |2008年第5期|30-32|共3页
作者
钟磊; 卢文壮; 左敦稳; 林欢庆;
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作者单位

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TF068.21;
关键词
化学气相沉积法; 衬底温度; 热电偶;

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