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CVD金刚石膜沉积设备的稳流控制电路

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研制了DC PLASMA JET CVD金刚石膜沉积设备电源的稳流控制电路.该电路利用负反馈原理,通过SG3524调节输出脉冲的占空比,推动IGBT,为磁饱和电抗器提供控制电流,达到电源稳定输出电流的目的.

著录项

来源
《河北省科学院学报》 |2004年第2期|7-933|共4页
作者
杨卫正; 王少岩; 吴晓波; 胡红彦; 刁习刚; 郭辉;
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作者单位

河北省激光研究所,河北,石家庄,050081;

河北省激光研究所,河北,石家庄,050081;

河北省激光研究所,河北,石家庄,050081;

河北省激光研究所,河北,石家庄,050081;

河北省激光研究所,河北,石家庄,050081;

河北省激光研究所,河北,石家庄,050081;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子电路;
关键词
磁饱和电抗器; 稳流; SG3524; IGBT;

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