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毛美姣; 刘舜; 胡自化; 陈小告;
湘潭大学机械工程学院 湖南湘潭411105;
湘潭大学复杂轨迹加工工艺及装备教育部工程研究中心 湖南湘潭411105;
湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 湖南长沙410082;
硬质合金刀片; 化学机械抛光; 磨料硬度; 材料去除;
机译:硅磨料化学机械抛光中悬浮磨料对浆料润滑性能的影响
机译:考虑不同体积浓度的浆料化学反应效果的理论模型与磨料去除深度的实验及硅晶片化学机械抛光效果的探讨
机译:十字图案抛光垫化学机械抛光不同浆料浓度下蓝宝石晶片的磨料去除深度研究
机译:用于化学机械抛光的二氧化硅和二氧化铈纳米颗粒混合磨料浆料的胶体稳定性研究。
机译:化学机械抛光实施后化学机械抛光对钛植入物表面性质的影响FT-IR和钛植入物表面的润湿性数据
机译:磨料大小对蓝宝石晶圆高压化学机械抛光的影响
机译:不同尺寸磨料抛光对旋转圆盘电极电流响应的影响
机译:使用固定的磨料抛光垫和专门用于化学机械抛光固定的磨料的铜层化学机械抛光溶液的铜化学机械抛光工艺
机译:--使用固定的磨料抛光垫和专门为固定的磨料垫进行化学机械抛光而采用的铜层化学机械抛光溶液进行的铜化学机械抛光工艺
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