一种带断屑槽硬质合金刀片化学机械抛光设备

摘要

本发明涉及一种带断屑槽硬质合金刀片化学机械抛光设备，是针对由于现有化学机械抛光设备的限制，化学机械抛光工艺无法应用于带断屑槽硬质合金刀片的断屑槽表面抛光的技术问题而进行设计。其包括通用装置、Z向精密滑台、毛刷装置、振动电机、刀片夹具和抛光液供给装置，所述Z向精密滑台与通用装置后侧连接，毛刷装置与Z向精密滑台连接，振动电机安装于毛刷装置前侧，刀片夹具与通用装置连接，抛光液供给装置与毛刷装置连接。本发明通过对毛刷和抛光液的精准控制，利用抛光液的化学腐蚀与毛刷对带断屑槽硬质合金刀片的机械磨损实现化学机械抛光的工艺过程，具有操作简单，控制方便，运行可靠、调节方便的优点。