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AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的MOCVD生长

     

摘要

文中利用MOCVD方法,采用高质量GaN作为缓冲层,在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同组分的AlxGa1-xN/GaN分布布拉格反射镜(DBR)的制备.通过XRD、SEM、AFM、反射谱等测量分析手段,研究了AlxGa1-xN/GaN DBR的结构质量、厚度和表面形貌.

著录项

  • 来源
    《激光与红外》|2005年第11期|891-893|共3页
  • 作者单位

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    北京科技大学物理系,北京,100083;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

    中国科学院上海技术物理研究所,上海,200080;

    江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,江苏,南京,210093;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
  • 关键词

    AlGaN; GaN; 分布布拉格反射镜; MOCVD;

  • 入库时间 2022-08-18 03:12:15

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