利用LBIC技术对InGaAs平面结器件结区特性的研究

摘要

室温铟镓砷（InGaAs）焦平面技术在航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷（InGaAs）焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏元面积扩大的问题越来越突出。本文利用激光诱导电流检测（LB IC）系统测试了平面结InGaAs（P-I-N）探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在。从实验结果看,掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素,并利用得到的实验数据拟合求出了器件少子的扩散长度。