硅基光波导材料的研究

摘要

光波导是集成光路及其元器件中最基本的构成单元.本文介绍了各种不同类型的光波导材料的特性.硅材料作为目前研究得最透彻的半导体材料,它在光电子领域的应用也是令人关注的.硅基光波导材料种类繁多,主要包括聚合物、外延硅/重掺杂硅、SiO2,SOI和SiGe/Si等.硅基光波导材料是实现硅基光波导器件的基础,本文阐明了它们各自的特点和应用前景.其中聚合物、SiO2和SOI波导是目前研究的热点.