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火焰水解法快速生长硅基二氧化硅厚膜波导材料

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本文采用的火焰水解法,其工艺具有成膜速度快,能制作厚膜,设备简单,易于操作等优点.实验中,利用自制的火焰水解法淀积二氧化硅设备,在硅片上快速淀积结构疏松的无定形态二氧化硅厚膜材料,然后将该材料分别在真空中高温致密化处理,获得了膜厚达40微米以上的二氧化硅材料,该材料具有膜厚均匀,光滑透明和玻璃态等优点,并利用XRD和电子显微镜等仪器对二氧化硅膜的表面和膜厚进行了测试分析,获得了光滑透明的玻璃态的二氧化硅厚膜材料.

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来源
《中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议》|2003年|65-65|共1页
会议地点牡丹江
作者
郑伟; 吴远大; 张乐天; 邢华; 李爱武; 钱颖; 张玉书;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类集成光学器件;
关键词
列阵波导光栅; 波分复用器; 火焰水解法; 硅基二氧化硅厚膜;

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