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新型绝缘体上硅技术的发展与展望

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总结了最新发展起来的两种绝缘体上硅晶片制造技术 ,给出了绝缘体上硅新器件、新结构和新工艺研究进展 ,提出绝缘体上硅技术所面临的机遇和挑战 .

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来源
《西安电子科技大学学报》 |2001年第6期|792-796|共5页
作者
冯倩; 郝跃;
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作者单位

西安电子科技大学微电子研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
绝缘体上硅晶片; 制造技术; 电子器件;

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