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光学薄膜厚度监控--极值点判断方法研究

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摘要

提出了一种计算机自动判读极值点的方法.利用此方法可以在光学薄膜厚度监控过程中,实现计算机对规整λ/4膜系膜层厚度的自动监控.此方法具有监控精度高、稳定性好的特点.

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来源
《西安工业大学学报》|2001年第2期|105-109|共5页
作者
韩军; 弥谦; 杨晓军;
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作者单位

西安工业学院光电科学与工程系;

西安工业学院光电科学与工程系;

西安光学精密机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
监控; 薄膜厚度; 极值点;

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