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广东省真空学会第八届学术交流会

召开年：2006
召开地：广州
出版时间： 2006-10

主办单位：中国真空学会;广东省真空学会

会议文集：广东省真空学会第八届学术交流会论文集

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1.电子电器无铅金属化技术的研究
- 王德苗
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：我国是一个电子陶瓷器件的生产大国,据不完全统计,现有电子陶瓷器件生产厂家1500多家,产值达 50多亿元,占全球总产量 25％份额,其中23％左右的产品出口. 所有的电子陶瓷器件都必须进行表面金属化,金属化工艺是电子陶瓷器件的关键制造工艺之一.但是迄今为止,几乎所有国内厂家一直采用丝网印刷含铅银浆、电镀的有害工艺,不仅制造过程中产生严重的污染,而且其金属化膜层中含有铅、六价铬等有害元素.用这种工艺制造的膜层难以适应高温无铅焊料的熔蚀,其生产成本也高. 作者经过长期研究和开发，提出了采用纳米量级厚度的梯度复合材料作为金属化电极，并采用磁控溅射技术来实现铁氧体、电子陶瓷、电子塑料机壳表面金属化，获得了满意的效果，并实现了产业化。本文仅就研究中的部分内容与各位同行进行交流。
2.离子镀黑色装饰膜
- 苏东艺;梁献文;袁镇海
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：本文综述近年来离子镀黑色装饰膜的发展状况,包括流行的黑色装饰膜系、应用、主要制备技术、反应离子镀TiC+C膜的工艺参数、沉积黑色膜的主要缺陷形式与成因,最后就TiC+C膜层结构和产生颜色机理作初步探讨和提出需深入研究的课题.
3.俄罗斯多弧离子镀技术及其在工模具硬质涂层上的应用
- 黎炳雄;董小虹;张中弦
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：随着工业技术的迅速发展和切削加工技术的进步,机床的切削速度不断提高,高速切削机床和加工中心应用十分广泛;在高速切削的前提下,为了确保加工精度,缩短加工周期,提高工效需要更高性能的刀具;另外为了避免后工序(例如热处理)产生加工变形,希望能对更高硬度(HRC 30～62)的材料进行切削加工,甚至取消后硬化工序,也需要更高性能的刀具.所以普通的硬质合金和高速钢己经不能满足这些要求,因此上世纪七十年代末TiN涂层刀具应运而生,九十年代得到迅速推广和发展,目前己发展到纳米级多元、超多层的复合涂层阶段.为了适应广东省经济迅速发展的需要,广东世创金属科技有限公司在2002年从俄罗斯引进了多弧离子镀设备和技术,2003年下半年安装调试并投入使用,设备运转正常,业务开展顺利,本文根据几年来的使用情况,作简单的介绍。
4.制备透明高阻膜的卷绕式真空镀膜系统
- 朱刚毅;朱文廓
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：随着市场经济的不断发展,社会对于包装薄膜的需求也日益提高,目前真空镀铝薄膜等到了广泛的应用,但是在很多使用场合,镀铝薄膜并不能满足某些特定的包装要求.我们开发的JRW系列卷绕式真空镀膜系统配置了具有自主知识产权的先进轴向强流直式电子枪,适合于高速蒸镀金属膜或介质膜,使得产业化镀制透明高阻膜成为可能.而且这种设备的研制成功不但填补了国内的空白,还将有力推动新型包装薄膜产业的发展。
5.真空漏率校准装置技术报告
- 徐标;刘深
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：电子元器件的密封性也是很重要的一项技术指标，密封性不合格将会使器件的性能卜降或不能正常工作。而对十真空检漏技术中的漏率量值，已是一个直接反映一些具有密封性要求的仪器设各和元器件产品很重要的物理参数，也就是应首先用检漏仪对这些产品在出厂和使用前进行检漏，以便确定其密封性指标。本文主要介绍真空漏率校准装置的结构原理和主要技术的解决及技术指标。
6.基于LabVIEW的氦质谱检漏仪监控系统设计
- 李繁;黄光周;刘雄英
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：本文基于LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统.利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪的部分动作的目标.该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率。
7.电磁屏蔽膜设备的开发及应用研究
- 朱建明;戴晋福
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：本文介绍了国内外对电磁屏蔽膜(EMI)研究的现状,比较了制备EMI膜的各种方法,指出采用磁控溅射法制备的EMI膜质量较好,并给出制备EMI膜的工艺流程。
8.舞台灯光与光学薄膜
- 王小辉
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：舞台灯光灯具集传统光学、机械传动、计算机控制技术于一体,是典型的光机电一体化装置.在舞台上,各种图案变换、颜色变换和光束移动等都是通过计算机控制步进电机来实现,光学系统主要实现灯光的视觉效果如光强、颜色及其他一些特殊效果.而光学系统中的各种光学元件离不开光学薄膜,在舞台灯具中光学薄膜元件有许多类,下面主要介绍舞台灯光中常用的光学薄膜元件功能及技术要求、设计膜系和光谱曲线,探讨光学镀膜材料和工艺,以及光学薄膜元件的应用场合。
9.光学薄膜厚度的实时监控算法研究
- 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：本文从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法。
10.光学薄膜厚度网络监控系统研究
- 帅福利;黄光周;黎永志;于继荣
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：本论文以光电极值法为基本理论,以现代网络传输技术为基础,实现了光学薄膜厚度网络监控系统.论文中主要描述了光电极值法的基本原理和网络监控系统的技术基础,并给出了详细实现方案及部署模型,最后通过实验验证了网络监控系统.
11.ZnO薄膜的掺Ag改性及其光催化降解苯酚性能研究
- 孙汪典;王英连
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：在溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的过程中掺入Ag,通过XRD、AFM和UV-Vis吸收光谱对该薄膜进行了表征.研究了掺Ag对ZnO薄膜光催化降解苯酚性能的影响.结果表明,ZnO薄膜掺入Ag之后, 增强了薄膜的光吸收能力,而且使薄膜的紫外吸收边出现了红移.适量Ag的掺入有利于ZnO薄膜光催化效率的提高.制备薄膜时醋酸锌与AgNO3的摩尔比为30:1的ZnO:Ag样品光催化效果最佳, 其3小时光催化苯酚降解率是改性前的1.47倍。
12.ZnO薄膜p型化的研究进展
- 段新颖;姚若河
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：高质量的P型ZnO是实现电泵浦条件下ZnO材料发光和激光的关键,也是实现紫外发光二极管,激光器等光电器件的重要基础.因而实现本征ZnO的n型电导向P型电导的转化,提高P型ZnO的质量,制备ZnO材料p-n结成为近年来的研究热点.本文从ZnO薄膜中的缺陷出发,结合最新的研究进展,分析并综述了制备可重复性、稳定性高的具有良好p型ZnO的困难以及相应的解决途径。
13.W/Ti合金靶材的制备及性能研究
- 储茂友;王星明;王赞海
- 《广东省真空学会第八届学术交流会》 | 2006年
摘要：随着超大规模集成电路(ULSI)工艺技术的不断进步,半导体器件特征尺寸在不断缩小,连接器件的金属布线向多层化和细微化发展,布线金属正由传统的Al向新兴的Cu转变.但铜在硅中的扩散速度比铝高,1000°C Al在 Si中的扩散系数为7× 10-13 cm2/sec, 而Cu在Si中的扩散系数为4× 10-6 cm2/sec ,铜进入硅中会充当深能级受主杂质的角色使得器件的性能大幅度下降.对掺硼的硅元件,铜还会与硼发生反应形成化合物,使硼的有效掺杂浓度降低.在半导体和金属铜之间引入一层扩散阻挡层,来阻止铜向硅中扩散,是解决这一问题的有效措施.一些难熔金属如W、Ti、Mo、Ta及其合金,被尝试用作扩散阻挡层材料.含Ti为10～20wt％的W-Ti合金作阻挡层具有良好的综合性能,成为该用途的主导材料.本文介绍 W/Ti合金靶材的制备及性能。