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王晓红; 朱惠忠; 冯冠平;
清华大学微电子学研究所;
清华大学精密仪器与机械学系,北京100084;
石英力传感器; 临界力; 稳定性; 性能; 双膜片;
机译:DETF石英谐振器与硅膜片结合设计谐振压力传感器
机译:利用柔性SiC圆形膜片的MEMS接触式电容式压力传感器的研究:稳健的设计,理论建模,数值模拟和性能比较*
机译:基于双端石英音叉和硅膜片的高性能微压传感器,用于大气包装
机译:AT切割多电极石英晶体谐振器的设计及其振动稳定性和力频率性能研究
机译:具有同心电极的高频石英晶体微稳态传感器阵列的设计与分析,具有多种气体检测的双倒立MESA结构
机译:具有集成式Ag / AgCl参比电极的片上流量型安培传感器的设计制备和性能研究
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:微型石英谐振器力传感器
机译:井下分布式压力传感器阵列,压力传感器,包括石英谐振器传感器的井下分布式压力传感器阵列及相关方法
机译:井下分布式压力传感器阵列,井下压力传感器,包括石英谐振器传感器的井下分布式压力传感器阵列及相关方法
机译:用于表征液体介质中谐振石英晶体传感器的系统,以及校准和补偿石英晶体容量的程序。 (通过Google翻译进行机器翻译,没有法律约束力)
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