石英谐振式力传感器及几个工程问题的研究

摘要

本文介绍了一种高准确度石英谐振式力传感器，针对其在工程化过程中遇到的一系列问题，从理论到实验进行了研究，解决了组合式结构石英传感器的蠕变问题，并研究了传感器的稳定性与谐振器厚度及支撑状况的关系。