基于能陷理论的石英谐振式力传感器的研究

摘要

采用能陷理论对石英谐振式力传感器的谐振器进行了分析和设计，通过基于基频的传感器和基于三次谐波传感器的性能分析，提出了采用三次谐波切角的ＡＴ切谐振器，并合理设计晶片及电极参数，可达到对非谐波及低次谐波的抑制作用；证明了基频传感器，尤其是三次谐波传感器工作于三次谐波比工作于基频时有更优性能。