石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析

摘要

石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历史悠久，其制作、测量方式及后续电路等相关技术已相当成熟，因而使用广泛。...