差动式石英谐振力传感器

摘要

利用ＡＴ切型的厚度剪切石英晶体谐振器沿不同方向施加外力时，将会获得不同的灵敏度这一特点，本文研究了一种新型的差动石英谐振式力敏传感顺。分析结果表明，采用这种差动方式将使传感器性能得到明显提高。