差动石英谐振式力传感器的温度特性及其温度自测

摘要

推导出了差动石英谐振式力传感器的一种输出表达式,考虑温度的影响进一步得到了温度影响下的传感器输出特性.并找到了一种新的温度自测方法--差动式温度自测法.结果表明:选择较高的泛音次数、合适的作用力方位,能够提高传感器的测力灵敏度,可使其达到单敏感型传感器的4.1倍;温度是影响传感器输出特性的一个主要因素,温度越高,影响越大,必须对输出特性进行补偿.选择合适的泛音次数、作用力方位能提高温度自测的灵敏度,可使其达到双频温度自测的2.7倍.