一种量程设计可变的石英谐振式力传感器

摘要

本发明涉及一种量程设计可变的石英谐振式力传感器，包括弹性体、敏感谐振器、承载杆和紧固螺母。承载杆置于弹性体的上梁上，弹性体为整体的平行双梁结构，六个柔性铰链分别构成上下两个平行梁的弹性支撑，传感器为对称结构，敏感谐振器置于平行梁之间，上梁为双梁并联结构，下梁为单梁结构。通过合理设计柔性铰链的参数，使上梁的支撑刚度系数与下梁及敏感谐振器的刚度系数间取合理的比值，可以实现不同的量程设计要求。