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庞江涛; 刘理天; 李志坚;
清华大学微电子学研究所;
微阀门; 微流量传感器; 微泵; 微流量控制系统; 系统集成;
机译:使用兼容VLSI的倍半硅氧烷氢束电子束光刻工艺设计和集成致密集成的硅量子点
机译:CMOS兼容工艺中多孔硅上集成电感器的设计和仿真
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机译:利用动态滚动泵,光纤集成光学检测器和硅微机械隔离柱的压力可编程气相色谱微型系统
机译:硅/硅微系统的混合集成:一个闭环,自主的微型培养箱。
机译:面向真空微型泵的宽压力范围微型放电离子源的阴极设计优化
机译:使用VLsI兼容的氢倍半硅氧烷电子束光刻工艺设计和制造致密集成的硅量子点
机译:用于发电系统的热脱硫和夹带流气化的集成和测试。第2阶段,工艺优化:第2卷,钛酸锌脱硫吸附剂的研究。
机译:集成电路芯片上记录的红灯闪烁的声音和语音的系统的研究和设计,以定位在微型汽车品牌上,以便忽略汽车中的任何儿童
机译:使用具有多个“夹具”的高度并行筛网优化的物理设计自动化系统和工艺,用于设计集成电路芯片
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