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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究

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本文提出了一种新结构的微热致动泵，着重对其关键工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。

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来源
《仪表技术与传感器》|1998年第8期|10-13|共4页
作者
崔天宏; 周兆英;
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作者单位

清华大学精密仪器系;

清华大学精密仪器系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH－39;
关键词
微型机械; 微型泵; 硅微加工工艺; 硅微热致动泵;

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