弹性边界下静电驱动微梁结构主共振分析

摘要

针对微机电器件中结构与锚点间因制造缺陷或优化设计而导致固支边界弱化,最终影响谐振元件动态特性这一问题,采用Galerkin法和多尺度法,对一类弹性边界单极板静电驱动微梁的主共振问题进行研究.考虑至7次非线性动态项,推导获得可表征频响曲线软硬转换行为的近似理论解.通过与理想边界结果对比发现,弹性边界可导致微梁的静态吸合电压降低,最大静态位移增大,一阶线性频率减小.在弹性边界影响下,系统的主共振频率响应最大振幅增大.