静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统

摘要

本发明提供一种静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统，基于阶梯型微悬臂梁的结构参数，计算阶梯型微悬臂梁无量纲宽度比，再利用阶梯型微悬臂梁无量纲参数关系式和静电力作用下阶梯型微悬臂梁变形的试函数，计算阶梯型微悬臂梁无量纲长度比，最终获得阶梯型微悬臂梁非静电力作用区的最优长度计算值，当阶梯型微悬臂梁非静电力作用区的长度等于最优长度计算值时，阶梯型微悬臂梁结构达到最优，即表明当前阶梯型微悬臂梁结构对应的驱动电压已达到最低。整个过程中，处理过程简单、计算量小，采用严谨的数据处理计算过程，实现对静电驱动阶梯型微悬臂梁结构的评价。