静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统

摘要

本发明涉及一种静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统，其中方法包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁结构参数和阶梯型微固支梁结构检测函数，所述阶梯型微固支梁结构检测函数用于记录阶梯型微固支梁结构参数之间的对应关系；根据阶梯型微固支梁静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁非静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁结构检测函数和阶梯型微固支梁总长度，计算阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值；在阶梯型微固支梁静电力作用区长度与阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值相同时，判定阶梯型微固支梁结构达到最佳。本发明采用简单算法模型、数据处理过程简单、计算量小，便于完成对静电驱动阶梯型微固支梁结构的检测。