時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ

摘要

MEMS（Micro Electro Mechanical System）は現在，様々な工業製品に使用されている．その信頼性の向上は重要な課題であり，工業製品の信頼性を高めるためには，内部のMEMS構造体の破壊や疲労の現象を理解することが必要である．MEMSはその小型さゆえに振動環境下にさらされることが多いため，MEMSの機械構造体に局所的に生じる動的応力を測定することが求められている．本研究では数kHzで共振振動するMEMS構造体の局所応力を時間分解計測することを目的としている．我々の研究グループでは顕微ラマン分光における入射レーザ光を時間変調するための静電駆動型光チョッパを提案し，片側駆動型MEMS 光チョッパを試作·評価したが，いくつかの課題が明らかとなった．そこで本報告では，新しい構造（両側駆動型）のMEMS光チョッパおよびそれに適した作製プロセスを提案し，両側駆動型MEMS光チョッパの設計および作製結果について報告する．