基于增量谐波平衡法的静电驱动微梁主共振分析

摘要

在微机电系统中,静电驱动微梁作为一种典型构件得到了广泛的应用,然而中面伸长、静电力等非线性因素对微梁的振动特性具有很大的影响。本文应用增量谐波平衡法研究静电驱动微梁横向非线性振动的主共振问题,采用Galerkin方法离散微梁的运动控制方程,应用IHB法对微梁的非线性振动特性进行分析,研究在激励频率与固有频率之比接近于1的主共振特性,分析阻尼、直流电压幅值和交流电压幅值对主共振情况下幅频特性曲线的影响。数值结果表明增量谐波平衡法是分析静电驱动微梁非线性振动的非常有效的半解析、半数值的方法。