一种基于微梁振动静电驱动微马达装置

摘要

本发明提出一种基于微梁振动的静电驱动微马达装置，由微梁静电驱动系统、动力输出系统和马达启动停止系统三部分组成。静电驱动装置由固定端、电源开关、直流电源、上极板、上极板接触弹簧、上电极、微梁、下电极、下极板接触弹簧和下极板组成；动力输出系统由质量块、质量块铰链、惯性轮铰链、连杆、连杆铰链和惯性轮组成；马达启动系统由电磁铁、质量块和微梁组成，电磁铁位于质量块正下方；静电马达做周期性重复运动，驱动惯性轮转动，利用振动微梁位移放大效应，梁右端质量块产生振动位移，能将微梁振动转化为驱动惯性轮的转动。