一种基于电磁型微马达的微摩擦测试装置

摘要

随着MEMS技术的发展,人们迫切需要对微观世界的摩擦现象进行研究测试,以求发现宏观与微观世界中摩擦现象的联系和区别,但由于测试条件的限制,现在还很难对微观世界进行直接测试.文中提出了一种全新的微小摩擦测试方法--间接测量法,利用了微型马达同时作为驱动元件和测试元件,通过分析微马达在施加力前后其运动特性的改变,间接地计算出微小摩擦力的大小.文中对测试机理和系统实现做了详细介绍.