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激光微加工中运动控制系统的设计

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摘要

设计了激光微加工系统中的运动控制系统,探讨了系统的组成、设计与实现.系统由目标值设定器、数字控制器、运动执行机构和位置检测用光栅尺构成.文中重点讨论了闭环运动控制系统中控制目标值的形成、执行机构X-Y平台的模型以及运动控制的算法等问题,控制精度达2 μm.

著录项

来源
《天津工业大学学报》 |2003年第5期|38-41|共4页
作者
杨雷; 姚建铨; 裴红星; 刘晓旻;
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作者单位

郑州大学,物理工程学院,郑州,450052;

天津大学,精密仪器与光电子工程学院,天津,300072;

郑州大学,物理工程学院,郑州,450052;

郑州大学,物理工程学院,郑州,450052;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类基础理论;信息处理（信息加工）;
关键词
激光微加工; 运动控制; X-Y平台; 光栅尺;

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