激光微加工
激光微加工的相关文献在1994年到2022年内共计249篇,主要集中在无线电电子学、电信技术、金属学与金属工艺、自动化技术、计算机技术
等领域,其中期刊论文71篇、会议论文8篇、专利文献1116334篇;相关期刊51种,包括中国科学技术大学学报、江苏大学学报(自然科学版)、科学技术与工程等;
相关会议8种,包括第14届全国特种加工学术会议、长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会、第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议等;激光微加工的相关文献由445位作者贡献,包括宁军、魏志凌、马秀云等。
激光微加工—发文量
专利文献>
论文:1116334篇
占比:99.99%
总计:1116413篇
激光微加工
-研究学者
- 宁军
- 魏志凌
- 马秀云
- 夏发平
- 陈涛
- 吴坚
- 刘世炳
- 华希俊
- 张洪泉
- 施云波
- 潘国平
- 王清月
- 符昊
- 符永宏
- 郭建英
- J·R·波拉
- 冯桥华
- 刘宁
- 徐贲
- 李倩
- 翟立斌
- 胡竹平
- 赵宏亮
- 闫晓光
- 陈继民
- 项金娟
- 高云峰
- 周锐
- 姜澜
- 孙斐
- 张健
- 戴玉堂
- 李伯奎
- 李峰平
- 杨兴华
- 杰弗里·豪尔顿
- 樊永发
- 沈明亚
- 洪明辉
- 王志平
- 王玲
- 王素梅
- 畅皓皓
- 秦水介
- 程光华
- 穆罕默德·E·阿尔帕伊
- 蒋素琴
- 裴旭
- 褚守云
- 许兆美
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高连丛;
陈翠芬;
吕栋栋;
欧佐元;
彭鸿雁
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摘要:
采用皮秒激光器作为加工光源通过环切法对钕铁硼永磁材料进行加工,并与传统的纳秒激光器加工效果作对比,探讨皮秒激光光斑在不同离焦量加工效果,利用扫描电子显微镜观察微孔的加工效果。基于实验确定的最佳工艺参数为:脉宽10 ps,功率20 W,离焦量0.2 mm,扫描速率为500 mm/s,重复频率500 kHz,激光入口直径47.9μm,出口23.0μm,材料厚度0.7 mm,孔锥度1.01°。皮秒激光加工方法是解决硬脆材料微孔加工的优质方法,这种微孔加工方法也可以延展到其他的材料加工之中。
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邹冰;
孙楠楠
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摘要:
激光技术以其自身在工作效率、加工精度及清洁性等方面的独特优势,在不同技术领域有广泛应用,其中激光微加工技术即可应用于集成电路的制造和封装.为深入探索这一应用的可行性、技术细节与后续发展潜力,详细介绍了激光微加工技术的主要特点,并结合集成电路产业的实际需要与特点,对激光微加工技术的实际应用情况展开分析并归纳技术要点,为激光微加工技术及电子制造业的发展提供参考.
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无
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摘要:
cqvip:Tensor超快光束引导技术突破了传统解决方案中的技术瓶颈,成倍提高了光束传输速度,使得可用激光能量能被最大效率地充分利用。激光微加工早已摆脱了加工速度慢的刻板印象,然而实际切割速度的限制因素是光束的传输,而并非有效激光功率。LPKF全新Tensor技术解决了这一制约激光微加工发展的根本性问题。
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摘要:
Aerotech的AGV-SPO单轴点扫描振镜可为激光微加工关键应用提供更大的视野并减少光斑畸变。独特的光学设计可有效控制光束入射,与扫描振镜X轴和Y轴方向运动一致,增加了扫描系统的有效数值孔径。这种设计直接为设定焦距提供了更大的视野,并减少了整个工作区域的光斑畸变。
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杨立军;
刘楠;
闫程程;
李晨;
陈威;
张达
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摘要:
针对高频电刀在对组织切割和止血过程中,存在组织粘附导致无法切割和凝血不充分的现象,提出了在电刀表面加工一种优化的鲨鱼皮微结构来改善其性能,并以新鲜猪肝为切割对象,研究了微结构尺寸参数对电刀摩擦性 、液体减阻率 、粘附性的影响.实验结果表明:仿生鲨鱼皮微结构能有效降低切割组织过程中的摩擦力与粘附量,该结构最大可以减少21.88% 的摩擦阻力,5.4% ~16.91% 的组织粘附量.
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李晶;
赵言辉;
于化东;
杜锋;
弯艳玲
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摘要:
A superhydrophobic surface on aluminum alloys substrates was fabricated by brush plating and laser processing technology.The special microstructure surface was clearly uniformly cov-ered by many convex hull and grooves arrangement.It is found that the sample surface has low adhe-sion performance without any chemical modified.The water contact angle of the fabricated surface is up to 156°and sliding angle is about 4.8°.In addition,the superhydrophobic surface has anisotropy (the direction of vertical groove and parallel groove)in sliding.The studies of the stability properties of superhydrophobic surface under different temperature environments show that,the contact angle of the superhydrophobic surface may also reaches 138° under the low temperature conditions.It has shown excellent anti-icing performance.The corrosion inhibition property of superhydrophobic coating in 3.5% NaCl solution is examined by Tafel curve measurement,and results show that,the special surface structure of aluminum alloy corrosion resistant value improves 3 orders of magnitude.%通过电刷镀与激光微加工技术相耦合的方法,在铝合金表面制备出一种微观尺度凸包与沟槽相互排列的特殊结构。未经任何疏水修饰的情况下,得到了一种低黏附性的超疏水表面,其静态接触角达到156°,滚动角约为4.8°,并且表面在滚动性方面表现出各向(平行沟槽方向和垂直沟槽方向)异性。所制备的表面对高温环境具有较好的稳定性,低温条件下也保持在接近138°较大接触角的疏水状态,且在抗结冰方面表现出优异的性能。通过3.5%(质量分数)NaCl 溶液的 Tafel 曲线测量发现,基体被耦合方法处理后腐蚀阻抗平均提高3个数量级。
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施云波;
张洪泉;
胡竹平;
冯桥华;
项金娟;
郭建英
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》
| 2006年
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摘要:
本文以膜厚为250 μm的Al2O3膜为微结构基板、95#Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2 mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气敏膜.实现了主动吸气的检测模式,提高了响应时间和气敏性.通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸,用做电极和加热器Pt膜厚为500nm,敏感膜厚为150 nm,微壳深度为150~200μm.测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应,灵敏度为0.01%浓度下0.25倍,并呈现P型半导体的变化规律.研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响.
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吴坚;
宣胜蓝;
李莹辉;
陈涛;
王春艳;
俞宽新
- 《第14届全国特种加工学术会议》
| 2011年
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摘要:
首次提出在紫外固化光学胶自重流淌并导致表面曲面变化时,采用激光固化的原位成形法进行的光学微透镜制作技术.该方法属于激光微加工技术,它克服了其它微透镜零件微加工方法中需要高精确剥离基材和与工作端面高精度同光轴粘合的难题,不需模具或掩模,在微点平面上直接"原位成形"系统所需曲面形状的微透镜零件,具有简易、快速、成本低的优点.使用此方法所制作的微透镜可用于面向空间应用的生物危害荧光微检测报警器,透镜的非球面形状增大了光子采集总量,高精度同光轴技术增大了光强聚焦效率,解决了微检测的难点问题.
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翟立斌;
翟立斌;
蒋茂华;
赵莹;
赵宏亮;
陈继民
- 《2007年激光技术发展与应用学术交流会》
| 2007年
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摘要:
光纤激光器是近年来发展迅猛的一种激光源,它具有光束质量好、体积小、免维护等许多优点.采用峰值功率为10 kW,最大平均功率为0.8 W的脉冲光纤激光器对50 μm的不锈钢箔进行微孔精密加工,得到了典型孔径为10μm的微孔,最小孔径可以达到3 μm;同时得到了激光功率、激光脉冲重复频率、钻孔持续时间等因素与孔径大小的关系曲线,并对孔径大小以及影响孔径质量的这些因素进行了分析.实验表明用脉冲光纤激光器对不锈钢材料进行微孔加工是一种非常有效的方法。
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翟立斌;
翟立斌;
蒋茂华;
赵莹;
赵宏亮;
陈继民
- 《2007年激光技术发展与应用学术交流会》
| 2007年
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摘要:
光纤激光器是近年来发展迅猛的一种激光源,它具有光束质量好、体积小、免维护等许多优点.采用峰值功率为10 kW,最大平均功率为0.8 W的脉冲光纤激光器对50 μm的不锈钢箔进行微孔精密加工,得到了典型孔径为10μm的微孔,最小孔径可以达到3 μm;同时得到了激光功率、激光脉冲重复频率、钻孔持续时间等因素与孔径大小的关系曲线,并对孔径大小以及影响孔径质量的这些因素进行了分析.实验表明用脉冲光纤激光器对不锈钢材料进行微孔加工是一种非常有效的方法。