PLD沉积DLC薄膜过程中碳等离子体的发射光谱特性

摘要

采用脉冲激光沉积方法,通过改变脉冲激光能量在单晶硅衬底上制备了类金刚石薄膜,利用椭圆偏振光谱和拉曼光谱对得到的薄膜进行测试,并对沉积过程中的碳等离子体发射光谱进行了研究.薄膜测试结果表明,随着脉冲激光能量的增大,薄膜sp3成分增多.沉积过程中的碳等离子体发射光谱原位监测表明,随着脉冲激光能量的增大,C、C+、C2+粒子发射光谱强度增强,根据应力模型薄膜sp3成分增多,与薄膜测试结果一致.并且发现C+粒子在形成sp3键过程中起到了非常重要的作用.