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许盛之;
南开大学;
硅基薄膜太阳电池; 等离子体增强化学气相沉积; 等离子体诊断; 等离子体特性; 工艺参数; 调控机理;
机译:用于薄膜工艺的Mirrortron溅射装置低温和无等离子体的硅基薄膜超高速沉积实现成膜速度比传统方法高10倍以上
机译:常压等离子体化学气相沉积制备高速率氮化硅薄膜的沉积特性与性能研究
机译:在微波等离子体中沉积金刚石薄膜的过程中,用聚合物前驱体层刺激金刚石在硅基底上的形核
机译:等离子体辅助原子层沉积过程中等离子体特性的优化:对薄膜结构和工艺增强前景的影响
机译:等离子体增强的硅基薄膜材料的化学气相沉积:使用质谱和低温(<600摄氏度)固相结晶的实时过程感测
机译:通过等离子体增强原子层沉积法沉积的GeSbTe薄膜的相变特性
机译:在微波等离子体中沉积金刚石薄膜的过程中,用一层聚合物前驱体刺激硅基底上的金刚石成核
机译:用于等离子体沉积金刚石薄膜的烃类电弧喷射器的等离子体特性
机译:等离子体化学气相沉积法在硅基薄膜光电转换器件中的沉积
机译:沉积硅基薄膜的设备和沉积硅基薄膜的方法
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