Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме

摘要

Показано, что слои определенного типа полимеров, нанесенные на подложку из кремния, образуют при термической деструкции (наряду с зр -координированным углеродом) наночастщы алмаза, которые служат центрами зарождения кристаллитов при последующем осаждении алмаза из газовой фазы. С использованием предкерамических полимеров поли(нафтилгидрокарбина) и поли(гидрокарбина) в смеси метан-водород в СВЧ-плазме синтезированы микрокристаллические алмазные пленки.