Sol-gel法制备ZAO薄膜及其红外发射率的研究

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在石英玻璃基底上制备了ZAO（掺铝氧化锌）薄膜,系统研究了各工艺参数,如溶胶浓度、Al掺杂量及热处理温度对其结构和性能的影响.XRD分析结果表明,ZAO薄膜具有ZnO晶体结构并具有沿（002）晶面择优生长的特性.SEM结果显示,所制薄膜的晶粒尺寸约为50 nm,浸涂1次溶胶所得薄膜的厚度约为2.6μm.溶胶浓度为0.3 mol·L^-1,掺杂Al为3 at.%的薄膜试样在700℃热处理后,8-14μm波段的平均红外发射率降至0.568.