溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的红外发射率研究

摘要

用溶胶-凝胶法在石英玻璃基底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜,研究了热处理温度和Al掺杂含量对薄膜红外发射率的影响.通过XRD和SEM分析了薄膜的微观结构和表面形貌,用光谱辐射计测量了薄膜在8～14μm波段的光谱发射率.结果表明,制备的ZAO薄膜都具有ZnO六角形纤锌矿结构,没有生成杂质相.热处理温度是影响薄膜在8～14μm波段平均红外发射率(ε)的主要因素.随热处理温度的升高和Al掺杂含量的增加,薄膜的ε值有降低的趋势.