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基极微空气桥和发射极空气桥的InP/InGaAs HBT(英文)

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报道了具有基极微空气桥和发射极空气桥结构的InP单异质结双极型晶体管(SHBT).由于基极微空气桥和发射极空气桥结构有效地减小了寄生,发射极尺寸为2μm×12.5μm的InPHBT的截止频率达到了178GHz.这种器件对高速低功耗的应用非常关键,例如OEIC接收机以及模拟、数字转换器.

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来源
《半导体学报》 |2007年第2期|154-158|共5页
作者
于进勇; 刘新宇; 苏树兵; 王润梅; 徐安怀; 齐鸣;
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作者单位

中国科学院微电子研究所;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微波半导体器件;
关键词
InP; 异质结双极型晶体管; 微空气桥; 空气桥; 自对准;

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