用透过率测试曲线确定半导体薄膜的光学常数和厚度

摘要

介绍了一种简单而准确地确定薄膜光学常数和厚度的方法 .借助于Forouhi Bloomer物理模型 ,用改进的单纯形法拟合分光光度计透过率测试曲线 ,获得半导体薄膜的光学常数和厚度 .对射频磁控溅射和直流反应溅射制备的玻璃基板上的α Si和ZnO薄膜进行了实验 ,拟合的理论曲线和实验曲线吻合得非常好 .计算得到的结果与文献报道的结果和台阶仪的测量结果一致 ,误差小于 4 % .该方法对无定形或多晶的半导体薄膜都适用 ,也可以用于计算厚度较薄的薄膜 .