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张军; 谢二庆; 付玉军; 李晖; 邵乐喜;
兰州大学物理科学与技术学院;
湛江师范学院物理科学与技术学院;
氮化锌; 薄膜; 射频溅射; 光电性质;
机译:衬底温度对水蒸气-氮气射频磁控溅射沉积氧氮化锆薄膜的影响
机译:氮气压力对氮化Al(111)衬底上脉冲激光沉积AlN薄膜性能的影响
机译:衬底温度和氧分压对脉冲激光沉积生长纳米晶铜氧化物薄膜性能的影响
机译:氧气分压和退火温度对后沟蚀刻锌氧化锌薄膜晶体管性能的影响
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:衬底温度对pECVD制备氮化硅薄膜性能的影响
机译:分压和温度对真空镀铬金薄膜性能的影响
机译:生产氮化铝氮化铝薄膜,例如用于发光二极管的发光层的方法,包括在氮气气氛中溅射a铝合金靶以分离衬底上的薄膜
机译:在蓝宝石衬底上生长氮化镓的方法包括在氨和氯化氢气体存在下使用氮气作为保护气体的反应器中,在衬底上生长氮化镓,并进一步处理
机译:氮化物生长衬底,特别是用于光电子器件中氮化镓的异质外延沉积,是通过粘合生长衬底和支撑衬底的柔顺薄膜并减薄生长衬底而制成的
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