MEMS薄膜纵向断裂强度的静电测试结构模型与模拟

摘要

根据 Bore提出的一种 MEMS薄膜断裂强度静电测试结构 ,给出了一种改进的数学模型 ,根据此数学模型可以很简单地测出 MEMS薄膜的断裂强度 .对各种不同尺寸的结构用 Coventor软件对所给模型进行了验证 。