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机译:光学微桨束偏转测量,用于纳米级薄膜在MEMS中的静电力学测试
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机译:微米和纳米级金属薄膜的静态和动态力学性能的测量:使用微悬臂梁偏转
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机译:基于纳米取向的微桥测试方法用于MEMS应用中薄膜的机械表征
机译:用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。
机译:应力诱导的纳米机械挠度转换的基于光学干涉术的CMOS-MEMS传感器
机译:机械可靠性测试技术的开发,应用于薄膜和压电MEMS组件