...
机译:M-TEST:一种用于使用静电驱动测试结构测量MEMS材料性能的测试芯片
机译:对“ M测试:使用静电驱动的测试结构测量记忆材料性能的测试芯片”的更正
机译:VM-TEST:使用在厚金属层中制造的静电驱动垂直MEMS测试结构进行机械性能测量
机译:电磁力和热膨胀作为静电放电测试下电热MEMS执行器的失效机理
机译:基于片上的基于MEMS的内应力致动结构,用于机械测试的独立薄膜材料
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:结构与活动关系的原位研究层状材料的结构与摩擦学性能之间的关系四球摩擦测试仪
机译:m-TEsT:使用静电驱动测试结构测量mEms材料特性的测试芯片