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桑胜波; 薛晨阳; 张文栋; 熊继军; 阮勇; 张大成; 郝一龙;
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
北京大学微电子研究院;
微加工工艺; 残余应力; 喇曼; 在线测量;
机译:Si(100)上外延Si_(1-x)Ge_x层的多波长微喇曼表征和在线过程监控应用
机译:用于评估加工平面的设备和评价例:微镜拉曼光谱法的微区域应力和结晶性评价
机译:通过多波长微拉曼光谱测量的应力场澄清铜填充的硅通孔(TSVS)周围硅中的多波长微拉曼光谱法测量
机译:喇曼光学活性的可靠测量:丙氨酸。
机译:光谱法布里-珀罗干涉测量法在薄层基板中进行表面微加工的应力分布轮廓成像
机译:通过使用微拉曼光谱测量的纤维残余应力在CFRP中钻孔损伤的加工损伤
机译:用微拉曼测量陶瓷层压板中的应力
机译:微喇曼分光光度计的温度测量方法
机译:喇曼放大器和使用相同的喇曼放大器的泵浦光源
机译:图像引导的微喇曼光谱
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