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铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其特性

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摘要

采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示:薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于(002)晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显.

著录项

来源
《泉州师范学院学报》 |2010年第2期|27-31|共5页
作者
庄小玲; 冷金亮; 张治国;
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作者单位

泉州师范学院物理与信息工程学院,福建,泉州,362000;

泉州师范学院物理与信息工程学院,福建,泉州,362000;

泉州师范学院物理与信息工程学院,福建,泉州,362000;

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正文语种 chi
中图分类可控硅器件;
关键词
磁控溅射; AZO薄膜; XRD谱;

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