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一种铝掺杂氧化锌薄膜表面改性材料、制备方法及电池

摘要

本发明提供一种铝掺杂氧化锌薄膜表面改性材料、制备方法及电池。所述表面改性材料为ZnMoOx薄膜,其中3<x<4,并且所述ZnMoOx薄膜的表面功函数为4.3eV~4.86eV。本发明提供的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜表面改性材料,具有稳定的宽范围(3.83eV‑4.86eV)可调谐的表面功函数,解决了目前增加ZnO:Al功函数的表面改性技术难以形成稳定的表面结构以保证表面功函数的稳定性的问题。以这种ZnMoOx表面改性的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜作为阳电极的非晶硅单结薄膜太阳能电池具有0.89V的开路电压,0.61的填充因子和6.54%的光电转换效率。

著录项

  • 公开/公告号CN109830545A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201910116789.X

  • 发明设计人 孟磊;杨涛;

    申请日2019-02-14

  • 分类号H01L31/0224(20060101);H01L31/18(20060101);H01L31/075(20120101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人周天宇

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2024-02-19 10:37:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0224 申请日:20190214

    实质审查的生效

  • 2019-05-31

    公开

    公开

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