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MOCVD反应管中石墨基座高温控制技术研究

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摘要

本文研究了使用电阻丝加热的MOCVD反应管中加热器的控制技术,报道了具有通用性的自动限流控制电路工作原理及其调试方法.本技术主要适用于高电阻温度系数加热元件的控制及保护,已成功地应用于MOCVD反应管中高温控制,加热器的使用寿命得到了显著提高.

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来源
《南昌大学学报：工科版》 |2003年第2期|55-58|共4页
作者
蒲勇; 彭学新;
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作者单位

南昌大学材料科学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O472.2;
关键词
电阻温度系数; 加热器; 自动限流;

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