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缩略语对照表
第一章 绪论
1.1 AlN的结构与应用
1.2高温MOCVD原理及生长模式
1.3研究意义
1.4国内外研究现状
1.5本论文的研究工作及章节安排
第二章 高温MOCVD生长AlN的化学热力学研究
2.1计算方法
2.2计算模型和原理
2.3高温MOCVD生长AlN的气相反应计算
2.4本章小结
第三章 高温MOCVD生长AlN的化学动力学研究
3.1气相反应动力学
3.2表面反应动力学
3.3高温生长AlN的化学反应机理
3.4本章小结
第四章 基于Grove理论的高温AlN生长速率模型
4.1 Grove理论
4.2基于Grove理论的生长速率模型
4.3生长速率模型验证
4.4本章小结
第五章 结论
5.1研究工作总结
5.2进一步的工作
参考文献
致谢
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