纳米粉预处理的CVD金刚石薄膜成核与生长研究

摘要

研究了纳米金刚石粉预处理的光滑硅衬底上ＣＶＤ金刚石薄膜的成核与生长。通过与研磨处理样品相比较，纳米金刚石的预处理极大地提高了成核密度（可达１０＾９／ｃｍ＾２）、成核速度与成膜质量，并能方便地进行成核密度的控制，是一种经济实用、简单有效的预处理方法。