一种CVD单晶金刚石生长预处理的方法

摘要

本发明涉及金刚石衬底处理的技术领域，特别是涉及一种CVD单晶金刚石生长预处理的方法，其可以在开始生长前对衬底进行预处理，清除衬底表面的污染物，提高生长出的单晶金刚石的质量和纯度；包括以下步骤：（1）衬底选择；（2）超声波清洗；（3）第一次干燥处理；（3）化学清洗；（4）第二次干燥处理；（5）衬底转移；（6）调整腔体内的参数；（7）混合刻蚀；（8）氢气刻蚀。