Nb掺杂BaTiO_3薄膜的激光分子束外延及其特性

摘要

用激光分子束外延方法在ＳｒＴｉＯ３(１００)基底上外延生长了ＢａＮｂｘＴｉ１－ｘＯ３(０．０１≤ｘ≤０．０３)导电薄膜．原子力显微镜测得ＢａＮｂ０．３Ｔｉ０．７Ｏ３薄膜表面均方根粗糙度在２μｍ×２μｍ范围内为２．４(?),达到原子尺度光滑．霍尔测量表明ＢａＮｂｘＴｉ１-ｘＯ３薄膜为ｎ型导电薄膜;在室温下,ＢａＮｂ０．０２Ｔｉ０．９８Ｏ３、ＢａＮｂ０．２Ｔｉ０．８Ｏ３和ＢａＮｂ０．３Ｔｉ０．７Ｏ３薄膜的电阻率分别为２．４３×１０－４Ω·ｃｍ、１．９８×１０－４Ω·ｃｍ和１．２９７×１０－４Ω·ｃｍ,载流子浓度分别为５．９×１０２１ｃｍ－１、６．３７×１０２１ｃｍ－１和９．９×１０２ｌｃｍ-１．