用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜

摘要

采用激光分子束外延技术,利用两步法,在Si单晶衬底上成功地外延生长出TiN薄膜材料.原子力显微镜分析结果显示, TiN薄膜材料表面光滑,在10 μm×10 μm范围内,均方根粗糙度为0.842 nm.霍耳效应测量结果显示,TiN薄膜在室温条件下的电阻率为3.6×10-5 Ω·cm,迁移率达到583.0 cm2/V·S,表明TiN薄膜材料是一种优良的电极材料.X射线θ-2θ扫描结果和很高的迁移率均表明,高质量的TiN薄膜材料被外延在Si衬底上.进一步在TiN/Si衬底上外延生长SrTiO3薄膜的结果表明,在Si上外延的TiN薄膜不仅具有很好的热稳定性,而且可以作为缓冲层或底电极外延生长其他的薄膜材料及多层结构.